首页
产品中心
晶圆传输系统
8英寸标准机械界面 200mm SMIF
12英寸晶圆盒装载系统 300mm Load Port
晶圆传输机器人 Wafer Transfer Robot
晶圆寻边器 Wafer Pre-Aligner
晶圆倒片机 Sorter
半导体设备前端模块 EFEM
光罩传输系统
光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener
光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange
光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
物料自动搬运存储系统
无人搬运车 AGV
自动搬运机器人 AMR
物料自动存储系统 Stocker
服务中心
服务支持
技术下载
在线留言
新闻资讯
企业资讯
关于我们
公司简介
发展历程
联系我们
浙江省嘉兴市平湖市创新路139号
产品展示
晶圆传输系统
8英寸标准机械界面 200mm SMIF 12英寸晶圆盒装载系统 300mm Load Port 晶圆传输机器人 Wafer Transfer Robot 晶圆寻边器 Wafer Pre-Aligner 晶圆倒片机 Sorter 半导体设备前端模块 EFEM
光罩传输系统
光罩开盒器 DeskTop Reticle SMIF Pod Opener 光罩传输系统 Lamina Series Reticle Exchange 光罩检测模组 Mask/Reticle Inspection System
物料自动搬运存储系统机
无人搬运车 AGV 自动搬运机器人 AMR 物料自动存储系统 Stocker
首页 > 产品展示
  • EFEM

    EFEM

    EFEM
  • 8寸半导体设备前端模块 EFEM 8寸 Lamina Series 200mm Wafer EFEM

    8寸半导体设备前端模块 EFEM 8寸 Lamina Series 200mm Wafer EFEM

    EFEM
  • 12寸半导体设备前端模块 EFEM 12寸 Lamina Series 300mm Wafer EFEM

    12寸半导体设备前端模块 EFEM 12寸 Lamina Series 300mm Wafer EFEM

    富创得EFEM
  • POM 150R

    POM 150R

    光罩开盒器
  • SMIF POD开盒器

    SMIF POD开盒器

    光罩开盒器
  • 开盒器PLM 200R

    开盒器PLM 200R

    光罩开盒器
  • Lamina 202

    Lamina 202

    光罩传输系统
  • Lamina 203

    Lamina 203

    光罩传输系统
  • Lamina 204

    Lamina 204

    光罩传输系统
  • Lamina 205

    Lamina 205

    光罩传输系统
  • Lamina 206

    Lamina 206

  • 强光检测模组 Bright Light Inspection Module

    强光检测模组 Bright Light Inspection Module

    强光检测模组
首页 | 产品中心 | 服务中心 | 新闻资讯 | 关于我们
  • 扫一扫

    扫一扫