Product
•完整的工作台允许操作的mask 为3轴
•强光灯
•可编程检查例程
•手动控制mask方向。
•操作人员视图区域建在工具的一侧，在明亮的灯光下局部控制操作光罩片。
•可选配安装于工位上方的摄像头，通过高清屏幕捕捉，记录光罩片和薄膜状态
•可选的高清晰度实时视频可看到mask表面。
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
晶圆机器人
晶圆机械手
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