Product
Fortrend POM-200R是一款自动的SMIFpod，设计用于打开200mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后，光罩片仍在pod table上，操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统，可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术，能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器，防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在，防止错误地影响设备和fab之间的气流。
占地面积小，节省宝贵的厂房面积
1级洁净，主动自洁气流设计。
将晶圆盒置于密封的迷你环境中
所有电气系统均配有现场可编程应用软件
四个可编程联锁信号
晶片盒电流传感器
Pod传感器
晶圆映射传感器(现有，交叉槽)
符合SEMI E19.4, S2和S8标准，并通过CE认证
直接安装到加工工具或手动装载端口适配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)转换open station到SMIF兼容。
可选的RFID阅读器/写入器
可选的红外读/写
规格
Pod 尺寸
283mm W x 292mm D x 254mm H
尺寸大小
365W x 421D x770H mm
升降
240 mm
装载容量
5.4kg
Pod 界面
SEMI E19.4
电源需求
110V/220V 3A/1.4A 50/60Hz (24 VDC Optional)
重量
23kg without Pod
打开 Pod
< 12 seconds
关闭 Pod
< 10 seconds
MCBF
50,000 cycles
MTTR
< 1 hour
Pod PIP 传感器
1 set
Wafer Protrusion传感器
Cassette Present传感器
Cassette Protrusion 传感器
Wafer Mapping 传感器
通讯
并行 和/或 串联
通讯 (可选)
EIA-RS232C(SECS I/II)
ID device(可选)
RFID module or IR Link
Operation
本地操作或主机通信
Optional
负载端口适配器
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
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