特征和优势:
1类清洁
支持SEMI 兼容200mm SMIFpod
所有电气系统安装方便
基片突出传感器在工作过程中保护光罩片
正在申请专利的pinch传感器，用于保护操作人员和光罩片安全
多样个pod的传感器避免了操作人员的错误
静态耗散透明面板
规格：
重量:~ 51磅。
尺寸:13.25 " w x18.37 " d x27.50 " h
循环时间:< 10秒
MCBF: 50000次
MTTR:少于1小时
功率:1A最大，单相
50/60 Hz @ 115/240 VAC
通信:可选并行和串行
可选SECS I / II
选项:映射,RFID