Product
晶圆片中心和角度校准紧凑的设计高通量，速度和准确性全球安装超过2000台2”到12”可选择20,000hrs MTBF可靠性高
类别
具体内容
规格
晶圆
晶圆尺寸
8/12寸 SEMI 标准晶圆
寻边时间
≤3.2 秒(12寸晶圆时)
晶圆尺寸偏差范围
小于 ±5 mm
晶圆夹持方式
背夹式真空吸盘
晶圆夹持检测
带有数字显示的真空传感器
精度
中心方向精度
±0.1 mm
旋转精度
±0.1°
通用规格
电源
24V DC±10%,5A
真空环境
Less than -50kpa
通讯
Serial R2-232C,parallel I/O
其他
重量
About 6 kgf
用户界面
RS232C
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
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