Product
特点:
应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)
洁净室应用
单、双臂机器人
180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)
多种末端执行器: 伯努利吸爪 ，边缘夹持
平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）
可桉需求进行定制
模型
8’’Flip Robot
单臂
8’’ Flip Robot
双臂
12’’ Flip Robot
ASR-2015-00
ASR-2025-00
ASR-3014-00
ASR-3024-00
性能
运动范围
R1,R2 轴 (伸展)
567毫米
730毫米
T 轴 (旋转)
370度
Z 轴 (上/下)
240毫米
300/425毫米
最大速度
800 毫米/秒
240 度/秒
300 毫米/秒
1000≤ 毫米/秒
重复定位精度
≤ ±0.1毫米
≤ ±0.02度
≤ ±0.05毫米
平均故障间隔时间
≥ 8000 小时
平均修复时间
≤ 2 小时
通用
晶圆尺寸
8 英寸
12 英寸
控制轴
4
6
手臂类型
Endeffect厚度
< 3.5毫米
洁净等级
1类
负载
1kg(包含夹爪)
重量
38 千克
42 千克
48 千克
52 千克
教导器线长度(机器人控制)
3米(标准)
实用程序
功率(控制器)
单相 AC220±10%, 50/60Hz
洁净空气
大于0.5MPa,￠ 6mm
真空
小于 -90kPa
环境
工作环境温度
0-40°C
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
晶圆机器人
高升降行程机器人 2-3 Step Telescopic Robot
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