Product
Class 1 洁净度
支持8" & 12"晶圆片
晶圆片边缘和align ID
可选版本与OCR
旋转时检查晶圆片表面的缺陷
自动对齐和OCR
符合SEMI E19.3、E48、E111、E112、S2、S8标准和CE认证
拍摄位置位于摇杆传感器
松开晶圆微型开关，松开传感器，避免滑落
用带有坡形轮子和凹槽的夹持和拍击晶圆
规格
1
大小
W 607mm x D 435mm x H 458.5mm
2
旋转
0°- 360°
3
装载
12" 晶圆
4
晶圆类型
5
电源需求
220V 5A 50Hz
6
重量
29kg
7
校准时长
2.5s-3s
8
MCBF
50,000 cycles
9
MTTR
<1 小时
10
Clapping Sensor
1 pcs
11
Loosen Sensor
12
Rocker Sensor
13
Rotate Sensor
14
Align Sensor
15
通讯
EIA-RS232C(SECS Ⅰ/Ⅱ)
16
OCR Device(可选)
OCR
17
操作方式
本地操作或主机通信
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
晶圆机器人
晶圆机械手
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