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The Notch Identification system采用一套识别摄像头,对每个SEMI P1和P37的光罩片进行识别,并将识别倒角磨入墙角。利用该系统逻辑,可以对空白mask进行正确的定位,以适应今后的操作。
SMIF
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FO-3100
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