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富创得是拥有上千部半导体晶圆片、200mm cassette、SMIF、和300mm FOUP搬运机器人手臂客户安装实例的专业设备供应商,富创得的半导体AGV自动化方案就是将FOUP开关盒器的部分功能转移到AGV上,免去450mm的设备深度。这等于在每条生产线通道节省了900mm的宽度,同时降低了FOUP开关盒器的成本。配合密封手套箱EFEM设计,25片晶圆片搬运机器手臂,EFEM内部晶圆片存储空间,减少EFEM上的FOUP“开门器”数量,再次降低EFEM成本。
324-a和324-b是我们公司设计的两种不同的机器人。
324-a主要用于车间的运输。AGV有一个装载平台,可以装载物体。其优点在于运行时间长、精度高、多重安全保护措施、双向双导航模式、灵活性高、控制方便等。
在324-a的基础上,我们将AGV与机器人相结合,使324-b不仅具有车间运输功能,还具有抓取搬运功能,从而更好地代替人工。从长远来看,成本更低。
机器人广泛应用于半导体行业、集成电路行业、光伏行业等各行各业的搬运工作
1. 速度:
平稳运行速度:V=0.6m/s。(可调)快速运行速度:0.9m/s
FOUP/FOSP负载能力:2
驱动类型:两个独立差速器驱动,40000个车轮支架
2. 操作空间:
通道宽度:Wmin = 1.2 m
原地转弯:Wmin=1.5m
3.供电系统:
电池类型:三元锂电池
电池寿命:8h(负载)
充电方式:手动换电池/自动充电(配合电池塔使用)
4. 导航和控制
导航类型:激光SLAM导航/磁条导航(混合导航)
激光安全等级:I
扫描距离:20米
激光扫描角度:220°方向
外围接口: Ethernet /USB接口
5. 功能
控制方式:电脑控制(只适用于SLAM导航)
通讯方式:无线局域网
6: AGV负载:150kg
7:精度:+ / - 10mm(磁条导航)
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
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