Product
特点:
最大垂直行程1200毫米(z行程)
应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)
多达3-step伸缩式应用
单、双臂机器人
ODM或OEM供应
单、双臂/多片型
Class 1 洁净度
多种末端执行器:真空吸爪，边缘夹持器
平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选）
可按需求时进行定制
模型
Tele Single
(2-step)
Tele Dual
(3-step)
ASR-**10-20
ASR-**20-20
ASR-**10-30
ASR-3**20-30
性能
运动范围
R1,R2 轴 (伸展)
567毫米
730毫米
T 轴 (旋转)
370度
Z 轴 (上/下)
600毫米
1200毫米
最大速度
800 毫米/秒
240 度/秒
600 毫米/秒
重复定位精度
≤ ±0.1毫米
≤ ±0.02度
平均故障间隔时间
≥ 8000 小时
平均修复时间
≤ 2 小时
通用
晶圆尺寸
8 -12 英寸
控制轴
4
5
6
手臂类型
单臂
双臂
end effect厚度
< 3毫米
洁净度
Class 1
负载
1kg(包含夹爪)
重量
60 千克
64 千克
80 千克
84 千克
教导器线长度(机器人控制)
3米(标准)
实用程序
功率(控制器)
单相 AC220±10%, 50/60Hz
洁净空气
大于 0.4-0.5MPa,￠ 4mm
真空
小于-50kPa
环境
工作环境温度
0-40°C
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
晶圆机器人
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