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集成模块用于测量Blank Mask的厚度
精密测量传感器，以验证光罩的厚度。
可编程测量多达16个不同的位置的mask表面。
在每个位置记录厚度。
计算了mask的平均厚度。
静态测量重复性µm≤0.05
装载卸载测量重复性µm≤0.2
传感器分辨率:0.02µm
SMIF
PLUS 500 C
PLUS 500 R
PLUS 500 SX
PLUS 500 UX
FO-3100
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